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Neu und kostengünstig – spektroskopisches
In-situ-Ellipsometer iSE

LOT-QuantumDesign
Abb. 1: Spektroskopisches In-situ-Ellipsometer iSE

Das spektroskopische Ellipsometer iSE wurde speziell für die In-situ-Über­wachung von Schichtdicken und opti­schen Konstanten entwickelt.
Wie alle spektroskopischen Ellipso­meter von Woollam bietet das neue iSE höchste Messgenauigkeit und liefert in Verbindung mit der bewährten Auswertesoftware CompleteEASE ein hohes Maß an Messinformation und Mess­empfindlichkeit.
Nur die Ellipsometer von Woollam liefern schnelle, spektroskopische Daten über einen breiten Wellenlängenbe­reich. Das iSE verwendet ein neues opti­sches Design mit Dual RotationTM in Kombination mit moderner CCD-Detektion.

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Abb. 2: Optische Konstanten einer Metallschicht ändern sich als Funktion der Beschichtungszeit
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Abb. 3: Filmwachstum während der ersten 25 Zyklen der ALD-Abscheidung, dargestellt gemeinsam mit den Änderungen in den ellipsometrischen Rohdaten

Ein Spektrum mit hunderten von Wel­lenlängen wird im Bruchteil einer Sekunde simultan aufgenommen. Durch die Dual-Rota­tion-Technik erübrigt sich Zone­Ave­ra­ging, wodurch die schnellste Messzeit auch bereits höchste Emp­find­lichkeitsbedingungen liefert.

Im Vergleich zu bisherigen spektroskopischen Ellipsometern verfügt das iSE über eine extrem kompakte Bau­weise, so dass es sich ideal zur Inte­gration an Beschichtungsanlagen, wie z. B. ALD, anbietet. Auch wenn die Platzverhältnisse sehr eingeschränkt sind. Neben den kompak­ten An­­bauteilen – Einstrahl- und Emp­fängereinheit – beinhaltet das System lediglich eine kleine Steuereinheit, welche mit dem externen PC und CompleteEASE über Ethernet kommuniziert.

Geräteparameter
Schnellste Messzeit0,3 Sekunden (alle Datentypen); typische Messzeit 1-2 Sekunden, jeweils für komplettes Spektrum
MesstechnikPatentierte Dual-RotationTM-Optik mit CCD-Detektion
Spektralbereich400 –1000 nm, ~190 Wellenlängen
MessdatentypenPsi, Delta, N, C, S, Depolarisation, generalisierte Ellipsometrie, Mueller Matrix

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Kontakt

Thomas Wagner
Product Manager - Ellipsometry & Surface Science
+49 6151 8806-68
Fax: +49 6151 8806968
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