Back

Die eierlegende Wollmilchsau der EM-Probenpräparation – Beschichtungsanlage Q300TES

LOT-QuantumDesign
Abb. 1: Q300TES, Detail

&Neu und exklusiv für die Q300 TES kann jetzt ein Leitfähigkeitsmonitor (Conductance Film Monitor/CFM) bestellt werden. Der CFM (s. Abb. 1) ermöglicht die Überwachung des Schicht­­wider­standes von aufgedampften oder durch Kathodenzerstäubung aufgesputterten Schichten, sowie die Termi­nierung des Beschich­tungs­prozesses bei Erreichen eines Ziel­wi­­der­stands. Q300TES von Quorum Tech­nologies ist ein vollautomatisches Be­­schichtungs­system mit einfacher, intui­tiver Touch-Screen-Steuerung. Der Rezipient hat ein Volumen von ca. 16 Litern (Ø 30 cm x Höhe 21,5 cm) und ist damit für die meisten Proben mehr als ausreichend. Für die präzise Messung des Druckes ist ein Penning-Vakuummessgerät verbaut. Die inte­grierte Turbomolekularpumpe erreicht das typische Arbeitsvakuum (5x10-5  mbar) in wenigen Minuten.

LOT-QuantumDesign
Abb. 2: Widerstandsverdamp­fungskopf
LOT-QuantumDesign
Abb. 3: Kohlenstoffverdampfungskopf
LOT-QuantumDesign
Abb. 4: Kathodenzerstäubungskopf
 

Die enthaltenen Funktionen sind Me­tall­widerstandsverdampfung (Abb. 2), Kohlenstoffbedampfung mit Koh­lestab oder Kohlefaden als Quelle (Abb. 3) und Hochvakuum-Sputtern (Abb. 4). Proben mit einem Durch­messer von bis zu 4″ (10 cm, Kohle/Sputter) bzw. 6″ (15 cm, Metall­ver­dampfung) können mittels eines Schwing­­quarzmonitors oder des Leit­­fä­hig­keitsmonitors kontrolliert be­schich­­tet werden.

 

 

LOT-QuantumDesign
Abb. 5: Sonnen-/Planetensystem

Neu ist ebenfalls die optionale sonnensystemartig aufgebaute Proben­bühne (Abb. 5), bei der 3 Probenteller (Pla­neten) mit 92 mm Durchmesser um den Mittelpunkt (Sonne) der Pro­benkammer kreisen. Sowohl der optionale CFM als auch die Pro­benbühne sind exklusiv für die Q300TES erhältlich.


Back
Follow us: twitter linkedin
European offices
© LOT Quantum Design 2016