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Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2 – Erweiterter Spektralbereich bis 2400 nm

Per Definition wird mit spektroskopischer Ellipsometrie über einen breiten Spektralbereich gemessen. Mit unserem RC2 steht ein Bereich von 190 nm bis 1700 nm zur Verfü­gung.

Dual Rotating Compensator Ellipsometer
Abb. 1

Ausgehend von speziellen Aufg­a­ben­stellungen ist die Erwei­te­rung des Spektralbereichs zu langen Wellen­län­gen immer ein Wunsch und eine Forderung an die Herstel­ler.
Um diesem Rechnung zu tragen, bietet Woollam ab 2016 das RC2 mit erweiterter NIR-Option bis 2400 nm an.

Dual Rotating Compensator Ellipsometer
Abb. 2

Es handelt sich dabei um das bekannte RC2-Ellipsometer mit identischer Messgeschwindigkeit und derselben großartigen CompleteEASE-Software, jedoch mit zusätzlichen Wellenlängen bis ins Infrarot. Außerdem wird der gesamte Spektralbereich mit CCD-Technik simultan aufgenommen.

Abbildung 1 zeigt experimentelle Da­ten einer 1000 nm dicken thermi­schen SiO2-Schicht auf Silizium, gemessen von 210 nm bis 2400 nm. Ab­bildung 2 zeigt den Bre­chungs­index eines un­beschich­teten Quarz­glassubstrats. Die Änderung in der Krüm­mung der Dispersionskurve oberhalb von 1700 nm erfordert zur Beschrei­bung eine Sellmeier-Funktion (nicht be­schreib­bar mit Cauchy). Diese geänderte Krümmung wird durch die starke IR-Phononenabsorption in Sili­zium­­dioxid verursacht.

Dual Rotating Compensator Ellipsometer
Abb. 3: Mapping der Psi-Daten einer strukturierten Probe

Focused RC2-XF

Produktions-Wafer sind sehr häufig strukturiert, was Messungen mit hoher lateraler Auflösung erforderlich macht. Aber auch bei anderen Proben mit kleinen Strukturen, In­ho­mo­genitäten etc. ist es hilfreich, mit sehr kleinem Messfleck die Probe automatisiert abzurastern. Das Fo­cu­­sed RC2-XF bietet die perfekte Kom­bination aus kleiner Spotgröße (Strahldurchmesser = 25 Mikrometer), schneller Datenerfassung und sehr brei­tem Spektralbereich. Das patentierte Verfahren zur Datenerfassung des RC2 erlaubt die simultane Mes­sung des gesamten Spektrums mit über 1000 Wellenlängen vom UV bis zum nahen Infrarot in lediglich 0,3 Se­kunden.

Bitte kontaktieren Sie uns, falls Sie Aufgabenstellungen haben, die von die­sen einzigartigen Eigenschaften des RC2-XF profitieren könnten.

Wir können gerne Testmessungen an Ihren Proben durchführen.

Dual Rotating Compensator Ellipsometer
Abb. 4: Focused RC2-XF mit automatisiertem Probentranslator (300 mm)

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Thomas Wagner
Product Manager - Ellipsometry & Surface Science
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Fax: +49 6151 8806968
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