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Zygo Verifire XL Fizeau-Interferometer für große Planflächen

Fizeau-Interferometer für große Planflächen

Um Tragkörper oder optische Planflächen mit Durchmessern größer 300 mm schnell und zuverlässig zu vermessen, bietet Zygo mit dem Verifire XL eine neue Interferometer-Workstation an.

Solche Messaufgaben stellen sich z. B. in der Produktion von großen Spiegeln, optischen Fenstern, Laseroptiken oder bei der Tragkörperfertigung.

Tragkörperfertigung

Weitere Einsatzgebiete sind die Ver­messung von Halbleiter-Wafern oder Wafer-Chucks. Auch in der ultrapräzisen, mechanischen Fertigung von z. B. Dichtungsflächen, kann der Verifire XL für die Qualitätsprüfung eingesetzt werden.

Verifire XL

Das Gerät erfasst in einem Mess­vorgang sekundenschnell die gesam­te Fläche und liefert die Eben­heits­parameter sowie eine 2D- oder 3D-Darstellung der Abweichung von der eingebauten Referenzfläche. Die mitgelieferte Software MX steuert die Datenaufnahme und bietet eine Vielzahl von Analysefunktionen. Auf Grund seiner kompakten Abmes­sungen benötigt der Verifire nur eine geringe Stellfläche. Zudem ist die eingesetzte Messtech­nologie robust gegen typische Vibra­tionseffekte im Fertigungsumfeld, so dass einem produktionsnahen Einsatz nichts im Wege steht.

Ihr Kotakt:
Torsten Glaschke
06151 8806-51
glaschke@zygolot.de


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