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Her mit der Kohle – Arbeit mit Kohlenstoffschichten

Im Fall der Kohlestabverdampfung kann die Dicke des Films mit Hilfe eines Schichtdickenmonitors eingestellt werden. Die Freisetzung von Kohlenstoff kann kontinuierlich oder gepulst erfolgen. Beide Methoden haben sowohl Vor- als auch Nachteile. Bei kontinuierlicher Verdampfung (controlled ramped carbon rod evaporation) wird auch über den gesamten Beschichtungsvorgang Strahlungswärme frei, was für thermolabile Proben nachteilig sein kann. Andererseits lässt sich sehr genau eine definierte Schichtdicke einstellen. Bei der Methode der gepulsten Freisetzung (controlled pulse carbon rod/fiber evaporation) von Kohlenstoff kann sowohl mit dem Kohlestab als auch mit Kohlefaden gearbeitet werden. Die begrenzte Menge Kohlenstoff in Fäden limitiert jedoch die zu erreichende Schichtdicke. In diesem Verdampfungsmodus wird weniger Strahlungswärme frei und das Vakuum kann sich nach jedem Puls regenerieren.

Die Freisetzung des Kohlenstoffs ist jedoch nicht linear, wodurch es zu etwas dickeren Schichten kommen kann. Ein großer Faktor für hochwertige Kohlenstofffilme ist die Vakuumqualität.

Die vorgestellten Methoden zur Aufbringung von Kohlenstoffschichten sind sowohl für die Modelle Q150 R E/ES als auch für Q150 T E/ES verfügbar.


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