Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE

Von Woollam Co.

Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht vom Vakuumultraviolett bis ins nahe Infrarot (NIR). Dadurch ergeben sich unzählige Möglichkeiten, verschiedenste Materialien zu charakterisieren: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multischichten und jetzt auch Tauchflüssigkeiten.

Features
VUV Ellipsometrie
Spektralbereich: 146 bis 1700 nm
Probenraum mit N2 gespült
Vollautomatisch

Großer Spektralbereich:

Verfügbarer Spektralbereich: 146 -1700 nm mit NIR Upgrade-Option.

Höchste Genauigkeit

Der patentierte AutoRetarder erlaubt präzise Messungen von Delta über den gesamten Bereich (0-360°) inkl. nahe 0° und 180°. Dadurch werden optimale Messergebnisse für jeden Probentyp erreicht.

Bequeme Probenmontage

Das VUV-VASE verwendet eine Schleusenkammer, mit der die Probenkammer im Handumdrehen beladen und begast werden kann.

Probenschutz

Das VUV-VASE hat einen Monochromator vor die Probe geschaltet, welcher den Lichteinfall auf die Probe minimiert. So werden photosensitive Materialien geschützt.

Fotolacke

Messen von Schichtdicken und Brechungsindizes (n und k) bei 157nm, 193nm und 248nm.

Elektronenübergänge

Halbleiter

Bandlücken, elektrische Übergänge und kritische Punkte von Halbleitermaterialien konnten mit einem freistehenden Instrument, welches normalerweise Zugang zu einem Synchrotron benötigt, im VUV vermessen werden.

Anisotropie

Anspruchsvolle anisotrope Messungen (verallgemeinerte Ellipsometrie) liefern zusätzliche Informationen zur Charakterisierung uniaxialer (zwei optische Konstanten) und biaxialer (drei optische Konstanten) anisotroper Materialien. Das VUV-VASE kann sowohl im Transmissions- als auch im Reflexionsmodus messen.

Antireflexbeschichtung
Stepperoptiken

Kontakt

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Produkt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
+49 6151 8806-68
Fax: +49 6151 8806968

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