Spektroskopisches Ellipsometer VASE

Von Woollam Co.

Das VASE ist unser genaustes und vielseitigstes Ellipsometer für die Untersuchung an allen Arten von Materialien: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multi-Schichten und mehr.

Es verbindet hohe Präzision mit einem großen Spektralbereich von 193 bis 3200 nm. Variierbare Wellenlängen und Einfallswinkel erlauben flexible Messmöglichkeiten wie:

  • Reflektions- und Transmissionsellipsometrie
  • Verallgemeinerte Ellipsometrie
  • Reflexions- (R)intensität
  • Transmissions- (T)intensität
  • Kreuzpolarisierte R/T
  • Depolarisation
  • Scatterometrie
  • Müller-Matrix
Features
Ex-situ Spektroskopisches Ellipsometer
Großen Spektralbereich von 193 bis 3200 nm
Maximale Datengenauigkeit
Hohe spektrale Auflösung und perfekte Flexibilität für F & E

Maximale Datengenauigkeit

Das VASE kombiniert ein Ellipsometer mit rotierendem Analysator (RAE) mit unserem patentierten AutoRetarder für maximale Datengenauigkeit.

Präzise Wellenlängenauswahl

Der HS-190TM Monochromator wurde speziell für die spektroskopische Ellipsometrie entwickelt. Er optimiert Geschwindigkeit, Wellenlängengenauigkeit und Lichtdurchsatz. Gleichzeitig wird der Spektralbereich und Wellenlängenauswahl automatisch kontrolliert.

Flexible Messungen

Das VASE hat eine vertikale Probenhalterung, was eine Vielzahl an Messgeometrien erlaubt, z. B. Reflexion, Transmission und Streuung.

  • Vertikale Probenhalterung
  • Computergesteuerte Einfallswinkeleinheit 20° - 90°
  • Einfach- und Doppelkammermonochromator
  • Spektralbereich 250 - 1100 nm (standard)
  • DUV bis 193nm
  • NIR bis 1700 nm, 2500nm oder 3200nm
  • Computergesteuerte Probenverfahreinheit: 50mm XY oder 150mm XY
  • Computergesteuerter Probenrotator
  • AutoRetarder
  • Manualle 50 mm XY Translation
  • Fokusieroption mit 200 µm Spotgröße
  • Kamera
  • Kryostat (4.2 bis 500 K oder 4.2 bis 800 K)
  • Heizzelle (RT bis 300 °C or -80 °C bis +600 °C)
Halbleiter

Bandlücken, Elektronenübergänge und Kritischpunkte können für Halbleitermaterialien wie GaN, InP, SiGe, CdTe, etc. gemessen werden. Gute Wellenlängenauflösung und die Möglichkeit, Depolarisation zu vermessen, garantieren präzise optische Konstanten.

Dicke Schichten

Für dickere Schichten (> 5 µm) wird eine gute spektrale Auflösung benötigt, um die Interferenzoszillations-Merkmale von ?/? Daten aufzulösen. Vom Anwender definierte Monochromator-Schrittgrößen und eine schmale Bandbreite helfen, dünne spektrale Eigenschaften aufzulösen.

Photosensitves Material

Der Monochromator wird so vor der Probe positioniert, dass nur monochromatisches Licht mit geringer Intensität auf die Probe trifft. Dadurch wird die Belichtung von photosensitiven Proben verhindert.

Anisotrope Schichten und Meta-Materialien
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