Spektroskopisches Ellipsometer T-Solar

Von Woollam für Si-Solarzellen mit texturierten Oberflächen

T-Solar, ein intensitätsoptimiertes M-2000-Ellipsometer, ist speziell auf die Anforderungen bei der Messung texturierter Si-Wafer-Oberflächen ausgerichtet.

Features
SiN-Dicke von texturierten Si-Wafern
Rotating-Compensator-Ellipsometer
Hohe Intensität

Das Ellipsometer T-Solar verbindet erstklassige Photovoltaik-Messtechnologie in einem einzigen, speziell für texturierte Proben entwickelten Gesamtsystem. Aufgebaut auf dem bewährten M-2000-Rotating-Compensator-Ellipsometer misst das T-Solar Hunderte von Wellenlängen im gesamten Wellenlängenbereich vom UV- über den sichtbaren bis in den NIR-Bereich. Zur Verbesserung der Messeigenschaften bei rauen, texturierten Oberflächen, die eine erhebliche Reduktion des reflektierten Signals verursachen, ist das T-Solar mit einer speziellen Hochintensitätslampe und unserem neuen Intensity-Optimizer* ausgestattet. Das T-Solar eignet sich hervorragend für die Charakterisierung von Antireflex-Beschichtungen auf geätzten Siliziumoberflächen. Außerdem verfügt das T-Solar über einen einstellbaren, kipp- und drehbaren Probentisch*, der für die Ausrichtung der Pyramidenstruktur alkalisch geätzter monokristalliner Strukturen benötigt wird.

*zum Patent angemeldet

  • Spektralbereich 245 bis 1000 nm (470 Wellenlängen)
  • Automatisiertes Filterrad zur Signaloptimierung für alle Arten der Proben
  • Spezielle Probenverkipphalter mit einstellbarer Verkippung (0-58°) und Rotation (Rotationsbereich 100°), zur optimierten Messung an texturierten monokristallinen Silizium-Pyramiden-Strkturen
  • Abnehmbare Fokusierlinsen
Texturierte Substrate

Das System T-Solar wurde speziell für die Messung von Antireflex-Beschichtungen auf texturierten Substraten konzipiert. Sowohl die Texturierung als auch die AR-Beschichtung unterdrücken die Reflexion von der Oberfläche und erschweren damit die optische Charakterisierung.

Die durch alkalisches Ätzen in monokristallinem Silizium entstehende Textur hat eine regelmäßige Pyramidenstruktur, die in spezifizierten Richtungen des Siliziumkristalls ausgerichtet ist. Zur Messung dieses regelmäßigen Pyramidenmusters wird die spezielle Messgeometrie des T-Solar benötigt. Beim T-Solar-System lässt sich der Probentisch gegenüber der Standardgeometrie so kippen (und drehen), dass die Pyramiden auf den Messstrahl ausgerichtet sind.

Siliziumsolarzellen
Monokristallines Silizium

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Produkt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
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