Dual Rotating Compensator Ellipsometer RC2

Von Woollam Co.

Das RC2 ist das erste spektroskopische Ellipsometer mit zwei rotierenden Kompensatoren. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen neuen Technologien: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, modernstes Lichtquellen- und Spektrometerdesign. Das RC2 ist ein beinah universell einsetzbares Instrument für diverse Anwendungen der spektroskopischen und Müller-Matrix-Ellipsometrie

Features
Ex-situ, in-situ oder inline Setup
"Rotating Compensator" Ellipsometer
Modulares design mit einer Vielzahl an Optionen und Konfigurationen
Max. Spektralbereich 193 - 2500 nm
Vollautomatisch

Das RC2 Design ist aus 25jähriger Erfahrung entstanden. Es verbindet die besten Eigenschaften der Vorgängermodelle mit innovativen neuen Technologien: zwei rotierende Kompensatoren, achromatisches Kompensatordesign, modernstes Lichtquellen- und Spektrometerdesign. Das RC2 ist ein beinah universell einsetzbares Instrument für diverse Anwendungen der spektroskopischen Ellipsometrie. Durch das modulare Design kann das Ellipsometer an eine bestehende Prozesskammer oder jedes Tischbasisgerät angeschlossen werden. Neueste Technologie und Messoptionen wie verallgemeinerte Ellipsometrie, Müller-Matrix und Depolarisation gewährleisten präzise Ellipsometriemessungen für jede Probe.

Optische Konstanten und Dicke, Anisotropie, Indexgradient, Zusammensetzung

Das RC2 ist ein äußerst präzises System zur Bestimmung von optischen Konstanten, Dicken, optischer Anisotropie, Indexgradienten, Zusammensetzungen, etc.

HomogenitätDickenprofil

In Kombination mit einem automatischen XY-Mappingtisch können anhand von automatischen Messrezepten die Homogenität, Dickenprofil, etc. der Probe vermessen werden.

Dynamische MessungenAdsorptionskinetik

Dynamische Messungen können entweder mit dem In-situ-Paket, welches an einer UHV-Beschichtungskammer befestigt ist, oder mit Flüssigkeits- und Wärmezellen, die an ein ex-Situ RC2 gekoppelt sind, durchgeführt werden. So kann die zeitabhängige Adsportion von Molekülen aus einer flüssigen Umgebung in Echtzeit verfolgt und gemessen werden. Alternativ können temperaturabhängige Veränderungen an der Probe bestimmt werden, z. B. Phasenübergänge or die Glasübergangstemperatur von Polymeren.

Kontakt

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Produkt Manager - Ellipsometrie / Oberflächenwissenschaften
+49 6151 8806-68
Fax: +49 6151 8806968

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