Nanopositioniergeräte

Queensgate Instruments, eine Marke von Prior Scientific, bietet hochmoderne Nanopositionier- und Sensorik-Instrumente für die High-Tech-Industrie. Eine große Zahl an Modellen ermöglicht präzise Messungen auch im Vakuum,  unter Bestrahlung und in kryogenen Umgebungen. Die Produktpalette reicht von Nanopositioniergeräten wie verschiedenen Tischen, Aktoren, Translatoren und Sensoren bis zu  Steuerungselektronik und Software für das Bewegen und Aufstellen in allen lLinearen-, Kipp- und Drehachsen. Alle Tische, Sensoren und Translatoren sind individuell angepasst und ermöglichen so eine Vielzahl von unterschiedlichen Anwendungen.

Queensgate Instruments wurde 1978 als Spin-off des Imperial College in London gegründet. Damals waren sie die ersten Hersteller, die kapazitive Metrologie für Nanopositionierung genutzt haben. Noch heute sorgt Queensgates akademische Herkunft dafür, dass Forschung und Entwicklung der Konkurrenz stets einen Schritt voraus sind.

Nanopositioniergeräte sind Closed-Loop-, piezo-verfahrbare Tische, die sub-nanometergenaue Ortsauflösungen und Schrittweiten von hunderten Mikrometern ermöglichen. Alle Positionierer haben kurze Einschwingzeiten und eine hohe Linearität und sind Masse-Abweichungen gegenüber unempfindlich.

Verfügbare Tisch-Materialien: Aluminium, Super Invar, Edelstahl , Titan, Zerodur

Optionen: Unterdruck, Strahlung, Hohe Temperaturen

Kundenspezifische Designs auf Wunsch.

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Standardmäßig decken die Nanopositionier-Aktoren und Translatoren von Queensgate einen Bereich bis 120 ‎µm ab oder verfügen über eine Blockierkraft von bis zu 35000 N. Kundenspezifische Anfertigungen sind ebenfalls möglich.

Closed-Loop digitale Piezo-Translatoren (DPT) arbeiten mit integrierten kapazitiven Feedback-Sensoren für hochpräzise Positionierungen und geringe Hysterese-Effekte. Mit dem separat erhältlichen digitalen Controller lassen sich die Aktoren und Translatoren von Queensgate ganz einfach austauschen (Plug-and-Play). Für minimale Abweichungen und höchste Genauigkeit in der Bewegung sind alle Nanopositionierer auch mit Festkörpergelenken erhältlich.

Die Open-Loop-Aktoren vom Typ MTP sind robust, kompakt und kostengünstig. In Kombination mit alleinstehenden Nanopositionier-Sensoren ergibt sich ein voll flexibles Closed-Loop-System.

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Die Nanopositioniergeräte der NanoSensor Serie sind hochempfindliche, berührungsfreie Positions-Messsysteme. Sie basieren auf dem Prinzip hochpräziser, kapazitiver, mikrometrischer Messungen von Verschiebungen. Die beiden Nanopositionier-Sensoren „Probe“ und „Target“ werden einander gegenüber montiert, mit einem Air Gap (G), der dem Messbereich entspricht. Der eine Sensor wird an einer Referenz fixiert, der andere an dem beweglichen Teil. Die Verschiebung wird über den Bereich 0,5 - 1,5 G gemessen. Der NanoSensor hat einen außergewöhnlichen Auflösungsbereich von wenigen Pikometern bis 1,25 mm.

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