Sputter & Carbon Coater Glovebox - Hochvakuum

Q150GB von Quroum Technologies

Der Q150GB ist eine modulare Glovebox-Version des sehr erfolgreichen Q150T ES - einer Kombination aus Sputter Coater und Kohlebedampfungssystem, geeignet für REM, TEM und viele Dünnschicht-Anwendungen. Q150GB ist eine einzelne Plattform zum Sputtern, Kohlebeschichten und Metallverdampfen (optional).

 

 

Features
Vollautomatischer Beschichtungsablauf
Eingebaute Turbopumpe
Große Probenkammer Ø 165 mm
Für Edelmetalle und oxidierende Materialien
Flexibles modulares Design
Kombigerät zur Integration in eine Glovebox (Q150GB)

Der Q150GB kann als Sputter Coater oder für die Beglimmung genutzt werden. Die verschiedenen Kopfplatten sind in Sekunden für eine andere Anwendung getauscht. Der Wechsel wird vom Gerät erkannt und das Bedienmenü entsprechend geändert. Die Eingabe der Beschichtungsparameter, Anzeige des Beschichtungsablaufs und Fehlerausgabe erfolgen über einen Touchscreen. Anwender können ihre eigenen Rezepte mit allen Parametern abspeichern. Durch die Vergabe von Zugriffsrechten sind bestimmte Parameter vor Veränderung durch Anwender geschützt. Als Administrator hat man Zugriff auf alle Einstellungen. Verschiedene optionale Probentische erlauben eine effiziente und reproduzierbare Beschichtung der unterschiedlichsten Probengeometrien.

Optionen für die Glovebox-Montage:

  • Es wird ein Einschnitt in den Boden des Handschuhkastens vorgenommen, die Vakuumkammer eingesetzt und mit der mitgelieferten Dichtung abgedichtet. Die externen Anschlüsse wie Stromversorgung, Vakuumpumpe und Argongas können direkt an die Vakuumkammer erfolgen.
  • Alternativ kann die Stromversorgung, Vakuumpumpen- und Argongasanschlüsse durch zwei KF40 Durchführungen in der Rückseite des Handschuhkastens hergestellt werden.

Jede Q150GB wird mit einem Zubehör-/Konfigurationskit für interne oder externe Montage der Vakuumkammer geliefert. Wir bieten auch individuelle Lösungen für die verschiedenen Hersteller von Gloveboxen an. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen dazu.

Flexible modular design

A flexible modular design allows the work chamber to be mounted through the baseplate or, where box floor modification is not possible, inside the glove box.
Depending on the user preference, Q150GB can be both a top-of-the-range sputter coater for high resolution scanning electron microscopy (SEM) and a high-vacuum carbon coater suitable for SEM and TEM. The system’s flexibility can be further expanded by a wide range of accessories.

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