Mini Sputter Coater - Vorvakuum

SC7620 von Quorum Technologies

Der SC7620 Sputter Coater ist ein preisgünstiges, manuelles Gerät zum Sputtern von Edelmetallen und für die Beglimmung. Optional erhältlich ist ein Kohlebeschichtungszusatz mit separater Stromversorgung und Kohlefadenkopfteil.

Features
Manueller Sputter Coater
Für Edelmetalle Gold & Au/Pd
Beglimmung
Option Kohlebeschichtung für EDX/WDX

Mit Kohlestoff werden Proben beschichtet die mit EDX analysiert werden sollen. Kohlenstoff, als relativ schlechter elektrischer Leiter, hat jedoch den großen Vorteil, dass nur ein Elementpeak bei den "leichten Elementen" erzeugt wird und kaum Absorption von Röntgenstrahlung stattfindet.

Funktionsprinzip Magnetron-Sputter Coater

Die Magnetron-Sputter Coater (auch "kaltes Sputtern“) besitzen im Sputterkopf (Kathode), nahe dem Target einen für diese Anwendung optimierten Magneten. Er hat die Aufgabe auf seinen Feldlinien die bei der Ionisation freiwerdenden Elektronen/ Ionen zu lenken.

Dadurch werden

  • Elektronen effektivier für eine weitere Ionisierung von Prozessgasionen genutzt
  • übermäßige Erwärmung vermieden
  • die nutzbare Fläche des Target optimiert

Beim Sputter Coating wird ein Rezipient evakuiert und anschließend kontinuierlich ein Prozessgas, vorzugsweise Argon, zugeführt. Argon hat eine optimale Ionengröße und reagiert als Edelgas chemisch nicht mit anderen Materialien. In einem Vakuumfenster von ca. 1 x 10-1 mbar bis ca. 5 x 10-3 mbar werden in einem elektrischen Feld Prozessgasatome (Argon) ionisiert, also ein Plasma gezündet. Die positiven Argonionen werden auf die Kathode, den Magnetronkopf mit Target, beschleunigt und schlagen aus dem Target Atome heraus die alle Oberflächen innerhalb des Rezipienten benetzen. Auch die zu beschichtende Probe.

  • Rezipient, Ø 10 cm / Höhe 13,5 cm
  • Magnetron-Kopf für die "kalte" Probenbeschichtung, Scheibentarget
  • Sputterstrom über Argon-Nadelventil einstellbar
  • Höhenverstellbarer Probentisch für optimale Beschichtung
  • Beglimmung (glow discharge) durch Umpolung für Oberflächenmodifikation (hydrophil/hydrophob)
  • 3-Minuten Zeitschaltuhr, 15 Sekundenschritte
  • incl. Gold-Palladium-Target, 1 m Vakuumschlauch, Schlauchflansch & Schlauchschelle
  • Option: Kohlefadenbeschichtung
Auftragung von leitfähigen Schichten

Sputter Coater werden zur Abscheidung einer dünnen Metallschicht auf Substratoberflächen eingesetzt. In der Elektronenmikroskopie benutzt man das Sputtern, um elektrisch nicht leitende Oberflächen elektrisch leitfähig zu machen, da sich ansonsten die Elektronen aus dem Elektronenstrahl des Mikroskops auf der Probe sammeln und diese sich auflädt. Aufladung führt dazu, dass man Oberflächen mit einem REM nicht mehr abbilden kann. Die angestrebten Schichtdicken sind möglichst dünn, aber effektiv elektrisch leitend und haben eine Schichtdicke von 3 - 20 nm.

 

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