Kohlebeschichter / Carbon Coater Vorvakuum

Q150R-Serie von Quorum Technologies

Die Kohlebeschichter / Carbon Coater der Q150R-Serie sind vollautomatische Beschichtungsanlagen für die Herstellung von leitfähige Schichten aus Kohlenstoff für die REM und die TEM. Die Q150R-Serie ist als reiner Kohlebeschichter (RE) oder Kombigerät aus Sputter Coater und Kohlebedampfung (RES) mit Kohlestab oder Kohlefadenverdampfung erhältlich.

 

 

Features
Vollautomatischer Beschichtungsablauf
Große Probenkammer Ø 165 mm
Schnelle Beschichtungszyklen
Kohlefaden oder Kohlestabverdampfung
Option zur Metallwiderstandsverdampfung
Q150R ES Kombination aus Kohlebeschichter und Sputter Coater

Mit dem Grundgerät und entsprechenden Optionen kann der Q150RE oder RES als Kohlebeschichter oder für die Metallverdampfung genutzt werden. Die verschiedenen Kopfplatten sind in Sekunden für eine andere Anwendung getauscht. Der Wechsel wird vom Gerät erkannt und das Bedienmenü entsprechend geändert. Die Eingabe der Beschichtungsparameter, Anzeige des Beschichtungsablaufs und Fehlerausgabe erfolgen über einen Touchscreen. Anwender können ihre eigenen Rezepte mit allen Parametern abspeichern. Durch die Vergabe von Zugriffsrechten sind bestimmte Parameter vor Veränderung durch Anwender geschützt. Als Administrator sind alle Einstellungen.

Verschiedene optionale Probentische erlauben eine effiziente und reproduzierbare Beschichtung der unterschiedlichsten Probengeometrien.

Funktionsprinzip

Dünne leitfähige Schichten aus Carbon/Kohlenstoff werden durch Widerstandsverdampfung von Kohlefäden oder Kohlestäben erzeugt. Dabei wird die Kohlenstoffquelle von einem Strom (1-90 A) durchflossen, wodurch sich diese stark erwärmt bis hin zu einer Temperatur bei dem Kohlenstoff verdampft.

Die Freisetzung von Kohlenstoff (aus Kohlestab o. Kohlefaden) erfolgt in der Q150R-Serie gepulst und kann mit und ohne Kontrolle durch einen Schichtdickenmontior (controlled pulse carbon rod/fiber evaporation) erfolgen. Durch Verwendung von Kohlefäden können Schichtdicken bis zu 20 nm erreicht werden. Der Einsatzbereich von Kohlestäben ist mit 3 - 15 nm ähnlich. Die Schichtqualität ist in der Vorvakuumserie Q150R vergleichbar. Hochwertige Kohlenstofffilme für EBSD oder Supportfilme in der TEM können durch Verwendung eines Hochvakuumgerätes der Q150T-Serie erzeugt werden.

Spekationen Q150 RS / RE / RES
Abmessungen585 mm B x 470 mm T x 410 mm H (Höhe mit geöffnetem Kopfteil 650 mm)
Gewicht 28.4 kg
Rezipient  Borosilikatglas 152 mm Ø (innen) x 127 mm H
ImplosionsschutzPolyethylenterephthalat (PET) - Zylinder
Bildschirm145 mm x 320 mm x 240 mm TFT- Touch-Screen
BenutzeroberflächeIntuitive vollständige grafische Oberfläche Touch-Screen
Sputtertarget57 mm Ø x 0.1 mm dickes Gold (Au)-Target (nur in R S/R ES)
Vakuum
Drehschieberpumpe 50 l/min. 2-stufige Drehschieberpumpe mit Ölnebelfilter und Anschlussmaterial – separat zu bestellen AG-DS102
VakuummessungPirani-Messröhre
typisches Endvakuum∼2x10-2 mbar
Probenbühne50 mm Ø rotierende Bühne. Platz für 6 Probenstubs, 8–20 UPM. Alternative Probenbühnen unter Optionen und Zubehör
Anwendungen
Sputtern0–80 mA Prozesssteuerung mit optionaler Schichtdickenmonitor oder nach programmierter Zeit. Die maximale Sputternzeit beträgt 60 Minuten ohne Bruch des Vakuum
Kohleverdampfungrobustes, „ripple free“ Netzteil mit Puls Verdampfung für reproduzierbare Kohlenstoffverdampfung aus Stab- oder Fadenquellen. Stromimpuls: 1–90 A
Beglimmen/
Glow discharge
100 mA im DC+ Modus und 30 mA in DC- Modus
GaseArgongas, 99.999% (R S and R ES versions)
Stromversorgung90–250 V 50/60 Hz 1400 VA inkl. Drehschieberpumpe. 110/240 V Spannung wählbar
KonformitätCE-Konformität: Blindleistungskompensation. Erfüllt die geltenden Vorschriften (CE-Zertifizierung)
Optionen und Zubehör
10879 Kohlestab-Verdampfungseinsatz für 3,05 mm Ø Stäbe (nur RE und R ES). Inklusive Spitzer und 3,05 mm Ø x 300 mm (Packung 10 St.)
10262  Glimmentladung-Einsatz zur Modifizierung von Oberflächeneigenschaften (z.B. hydrophob zu hydrophil) (nur RS und R ES-Versionen), nachrüstbar
10726 Zusätzliches Sputterkopfteil für die schnellen Materialwechsel (RS und nur R ES-Versionen).
10360'Rotacota' planetarische Probenbühne (Drehgeschwindigkeit 8–20 RPM). 50 mm Ø Probentisch mit sechs Stub-Positionen für 15 mm, 10 mm, 6,5 mm oder 1/8 "Pin Stubs, neigbar bis 30 °
10357 Dreh-Kipptisch mit sechs Stub-Positionen für 15 mm oder 6,5 mm oder 1/8 "Pin Stubs. Neigungen bis 90° von der Horizontalen möglich.
10454 Schichtdickenmonitor mit Oszillator, Durchführung, Quarzkristallhalter und 2 Quarzen
10429Extra hoher Glasrezipient (214 mm h x 165 mm Ø), Implosionsschutz,  Empfohlen für erweiterten Abstand Beschichtungsquelle/Probenoberfläche
10731Pumpstutzen für Vakuumschlauchanschluss, Winkel 90°, drehbar, falls Abstellfläche nicht min. 55 cm tief ist.
Abscheidung dünner Kohlestoffschichten

Carbon Coater / Kohlestoffbedampfer werden zur Abscheidung dünner Kohlestoffschichten auf Substratoberflächen eingesetzt. In der Elektronenmikroskopie wird sowohl die Kohlebedampfung als auch das Sputtern benutzt, um elektrisch nicht-leitende Oberflächen elektrisch leitfähig zu machen. Die Beschichtung mit Kohlenstoff wird wegen der geringen Absorption von Röntgenstrahlung in der Elementanalyse bei EDX und WDX eingesetzt.

 

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