Aufdampfanlage für Kohlenstoff & Metalle

K975X von Quorum Technologies

Der K975X ist ein Widerstandsverdampfer zur Aufbringung dünner Schichten aus Kohlenstoff oder Metallen für REM- und TEM-Anwendungen. Durch ein optionales Modul ist die „low-angle shadowing“ Präparationstechnik nutzbar. Neben dem K975X gibt es ein speziell konzipiertes Gerät (K975S) zur Kohlenstoffbeschichtung von 8“ Wafern.

Features
Einzigartiges ‘anti-stick’ Kohlestabverdampfermodul
Integierte Turbomolekularpumpe
Geeigent für große Proben von 140 mm² oder 200 mm Ø
Einfacher Probenwechsel durch Schubladensystem
Vollständige Belüftungkontrolle

Der K975X ist mit einem Kohlestab- und einem Metallverdampfungsmodul ausgestattet. Das Gerät kann auch zur Reinigung von TEM- bzw. REM-Blenden und optional als Sputter Coater (Kathodenzerstäubung) verwendet werden. Der Rezipient aus Borosilikatglas hat einen Durchmesser von 250 mm und eine Höhe von 300 mm. In der Kammer können Proben mit einem Durchmesser von bis zu 8"/200 mm präpariert werden. Der Probenwechsel ist durch das Schubladensystem sehr einfach. Die im Lieferumfang enthaltene Probenbühne (80 mm) kann durch optional erhältliche Bühnen für z.B. 3 mm TEM-Grids, das „low-angle shadowing Modul“ oder eine planetarische Probenbühne ausgetauscht werden. Für eine schnellen Probenwechsel ohne Entfernung des Glasrezipienten verfügt die planetarische Probenbühne über eine speziell konzipierte Zugangsöffnung an der Kammerseite.

Das „low-angle shadowing Modul“ kann von 0° bis +/- 180° geneigt werden, was die besondere Präparationstechnik zur Bildgebung nutzbar macht.

K975S Widerstandsverdampfer
Der K975S ist in weiten Teilen mit dem K975X identisch. Er wurde jedoch für die Kohlebeschichtung von 8"/200 mm-Wafern entwickelt und verfügt über ein spezielles Probenwechselsystem für eben diese 8“-Wafer.

Spezifikationen
Maße und Gewicht 450 mm x 500 mm x 300 mm (BxTxH), 65 kg
Rezipient Aus Borosilikatglas mit klappbarem Metalldeckel , 250 mm Ø x 300 mm H (K975S für Wafer bis 200 mm)
ImplosionsschutzPolycarbonatzylinder - abnehmbar für Wartungsarbeiten
Metall-VerdampfungsmodulHöhen- und Neigungsverstellbar von 0–200°. Lieferumfang: mit 10 Wolframprobenkörbchen.
Probenbühne kippbar von 0–45°
Vakuummessröhre ATM   1x10-7 mbar
Arbeitsdruck 1x10-5 mbar, typischerweise innerhalb von 15 Minuten erreicht
Niederspannungsverdampfungs- VersorgungGepulst oder variable Steuerung. Wählbar: 0-5 V-15 V-25 V, Ausgastrom: 0-25 A
Gasversorgung Stickstoffgas (wenn zum Belüften verwendet). Argongas (wenn das optionale Sputternmodul vorhanden ist).
Vakuumpumpe 100 l/s Turbomolekularpumpe. Erfordert den Einsatz einer  Vorvakkumpumpe 5 m3/h (AG-DS102).
Stromversorgung   230 V/50 Hz (8 A maximum inkl. Vorvakuumpumpe), 115 V/60 Hz (16 A maximum inkl. Vorvakuumpumpe)
Lieferumfang Zubehör einschließlich: Kohlenstoffstäbe (6,15 mm x 100 mm), Verdampfungsfilamente, S8651 Kohlestabspitzer und Bedienungsanleitung
K975X (EK3154)Thermische Verdampfer mit Turbomolekularpumpe
K975S (EK3153)K975S Thermische Verdampfer mit Turbomolekularpump & Probenbühne, für 200 mm Wafer
Vorvakuumpumpe  Zur Unterstützung der Turbomolekularpumpe ist eine 5 m3/h Drehschieberpumpe ist erforderlich, Endvakuum 2x10-3 mbar(AG-DS102 empfohlen für den normalen Gebrauch)
AG-DS102zweistufigen Drehschieberpumpe, 5 m3/h, Ölnebelabscheider, 1 l Pumpenöl
EK3172Ölfreie Scrollpumpe (nXDS 10i), 12,7 m3/h, Endvakuum 7x10-3 mbar
Optionen
EK4160 Low-Angle Shadowing-Modul
EK4205 Planetarischer Probentisch mit extern einstellbarer Neigung
EK4175 Sputtermodul, einschließlich Chrom-Target (Cr), weitere Target-Materialien optional erhältlich
10983 Schichtdickenmonitor
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