Plasmaanlage Flecto PC-MFC für den Laborbetrieb

von Plasma Technology

Der Flecto PC-MFC ist ein kompaktes und preiswertes Plasmagerät für den Laborbetrieb und Kleinserienanwendungen. Durch die angewandte KHz-Generator-Technik entfallen die sehr aufwändige Elektronik und die Impedanzanpassung die bei MHz-Generatoren notwendig sind.

Features
Plasmaverascher
Plasmaätzer
Plasmareiniger
Plasmaoberflächenmodifikation
PC-Steuerung, Bedienung über integrierten Industrie-Touch-Screen 6.5“, inkl. Steuer- und Prozesssoftware
Erstellung und Speicherung von Prozessen

Das Gerät arbeitet vollautomatisch und ermöglicht es, Prozesse und Rezepte zu erstellen, abzuspeichern oder zu modifizieren. Ein Rezept kann beliebig viele Prozessschritte enthalten. Damit können auch knifflige Prozesse reproduzierbar und auf Knopfdruck durchführt werden. Über den integrierten Touchscreen können vorhandene Rezepte geändert und für spezielle Bedürfnisse optimiert werden.

Optionen:

  • Vakuumsensor für aggressive Gase
  • Verdampfer-Ventil - zerstäubt Flüssigkeiten die Anstelle von Prozessgas verwendet werden. (Nur für einen Gaskanal möglich.)
  • Separat stehender Sauerstoffkonzentrator - kann statt einer Sauerstoff-Gasflasche genutzt werden. Filterung auf Granulatbasis. Sauerstoffreinheit ca. 95%. Granulat ist für ca. 5.000 Betriebsstunden nutzbar.
  • Reaktortür TEMprobeclean mit Port für TEM Probenhalter für schnelle Reinigung. Ausführung Edelstahl mit Port KF25 und Schauglas KF16.
  • TEM-spezifischer Vakuumport für TEM-Probenhalter

Bitte beachten Sie:

Reaktoren aus Edelstahl werden nicht für Anwendungen mit Argon empfohlen, können aber damit betrieben werden. Argon erodiert Oberflächen. Die Erosionsprodukte können Proben kontaminieren.

Bei Anwendungen mit Wafern (stripping, etc.) und Kristallgitterstrukturanalysen (TEM) ist der Einsatz von MHz-Generatoren unabdingbar.

Veraschen von organischen Bestandteilen
Reinigung von TEM-Blenden und allen Probenoberflächen
Strukturieren oder Ätzen von Oberflächen
Veränderung von Oberflächeneigenschaften (hydrophil/hydrophob)
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