Plasmaanlagen für den Laborbetrieb sowie F&E

von Plasma Technology

Die Plasmageräte der Firma Plasma Technolgy GmbH sind ideale Systeme für den Laborbetrieb sowie für Forschung und Entwicklung. Durch die angewandte KHz-Generator-Technik entfallen die sehr aufwändige Elektronik und die Impedanzanpassung die bei MHz-Generatoren notwendig sind.

Die SmartPlasma Serie stellt Plasmaanlagen für den Laborbereich zur Verfügung welche sich durch eine intuitive, leichte Bedienung hervorheben. Der Plasmaprozess wird überwacht und es können Leistung, Prozesszeit sowie Druck eingestellt werden.

Die MiniFlecto Serie richtet sich eher an Anwender aus der Forschung und Entwicklung. Alle Komponenten sind in der Anlage integriert und es können Leistung, Prozesszeit, Druck als auch das Prozessgas verändert werden.

Die SmartPlasma und die MiniFlecto Systeme sind vorrangig für die Oberflächenbehandlung von kleineren Proben bestimmt. Beide Serien liegen in unterschiedlichen Ausbaustufen vor und können durch verschiedene Optionen erweitert werden.

Bitte beachten Sie:

Reaktoren aus Edelstahl werden nicht für Anwendungen mit Argon empfohlen, können aber damit betrieben werden. Argon erodiert Oberflächen. Die Erosionsprodukte können Proben kontaminieren.

Bei Anwendungen mit Wafern (stripping, etc.) und Kristallgitterstrukturanalysen (TEM) ist der Einsatz von MHz-Generatoren unabdingbar.

Veraschen von organischen Bestandteilen
Reinigung von TEM-Blenden und allen Probenoberflächen
Strukturieren oder Ätzen von Oberflächen
Veränderung von Oberflächeneigenschaften (hydrophil/hydrophob)
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