Desktop Rasterelektronenmikroskop mit integrierter EDX-Analyse

ProX von Phenom-World

Das Phenom ProX ist das „All-in-One“-Elektronenmikroskop (REM) im Desktop-Format mit voll integrierter Mikroanalytik (EDX). Der 4-Quadranten-Rückstreuelektronendetektor (BSD) ermöglicht eine Ortsauflösung von ≤ 14 nm (bezogen auf Gold bei 10 kV und 6 mm Arbeitsabstand) sowie Vergrößerungen bis 130000x.

Der Schlüssel für die Leistungsfähigkeit liegt in der Kombination der Komponenten: Robuste Elektronensäule, leistungsfähige Elektronenquelle (CeB6), patentiertes Probensystem und dazu eine genial einfach und intuitiv zu bedienenden Benutzeroberfläche.

Das Phenom ProX ist mit dem ProSuite Rechner und der Software „Element Identification“ ausgestattet. 

Features
Auflösung ≤ 14 nm, Vergrößerungsbereich 80x – 13000x
Langlebige CeB6-Elektronenquelle für brillante Bildqualität
Beschleunigungspannungen zwischen 4,8 kV und 15 kV stufenlos wählbar
EDX-Analysen mit Eingangszählraten von bis zu 300000 cps, Energieauflösung ≤ 140 eV (@ Mn-Kα)
Probenladezeit weniger als 30 Sekunden und motorisierte X/Y-Achsen

Phenom ProX

Mit dem Phenom ProX können Proben hochauflösend auf ihre morphologischen Eigenschaften und Elementzusammensetzungen untersucht werden.

EDX ist eine Technik, bei der durch die Wechselwirkung des primären Elektronenstrahls mit oberflächennahen Atomen Röntgenphotonen emittiert werden. Mittels EDX-Detektor und -Software können Elemente von Bor (5) bis Americium (95) ab ca. 0,1 Gewichtsprozent identifiziert und quantifiziert werden.

Ein umfangreiches Berichtstool erzeugt automatisch aussagekräftige Auswertungen und stellt die ermittelten Daten und Grafiken für andere Anwendungen zur Verfügung.

Neben Punkt- und Flächenanalysen bietet das ProX optional Linenanalysen (Linescan) und Elementverteilungskarten (Mapping).

Phenom ProSuite

Die ProSuite Applikationsplattform (im Lieferumfang Ihres Phenom ProX enthalten) bietet eine Vielzahl an Tools für Ihre REM-Bilder.

  • Automated Image Mapping
    Automatisches Zusammenfügen von REM-Bildern zu einem großen zusammenhängenden Bild ermöglicht die Betrachtung von großen Probenflächen bei hoher Ortsauflösung
  • Remote User Interface
    Hiermit können Sie Ihr Phenom via LAN oder WLAN fernsteuern. Sei es für die Übertragung von Live-Bildern in den Hörsaal oder für Support-Zwecke
  • 3D RoughnessReconstruction (Option)
    Visualisierung von Oberflächen in 3D. Basieren auf dem „Shape-from-shading“-Algorithmus werden 3D-Bilder in Sekundenschnelle ohne Probenkippung erzeugt
  • ParticleMetric (Option)
    Automatische, hochauflösende Partikelgrößenanalyse und umfangreiche statistische Auswertung von morphologischen Eigenschaften von Nanopartikeln
  • Porometric (Option)
    Automatische, hochauflösende Porengrößenanalyse und umfangreiche statistische Auswertung von morphologischen Eigenschaften von nanoskaligen Poren
  • Fibermetric (Option)
    Automatische, hochauflösende Faseranalyse und umfangreiche statistische Auswertung von nanoskaligen Fasern

Phenom Probenkammern

Jedes Phenom (außer Phenom XL) wird mit einer Standard-Probenkammer ausgeliefert. In dieser Probenkammer herrscht im REM-Modus ein Vakuum von ca. 0,1 mbar (10 Pa). Das ermöglicht zum einen eine sehr schnelle Probenschleusung in weniger als 30 Sekunden. Zum anderen neigen vakuumempfindliche Proben bei diesem Druck weniger zum Kollabieren und Aufladen als in einem Hochvakuum-System.

Folgende optionale Probenkammern stehen zur Verfügung:

  • ChargeReduction Probenkammer
    Im ChargeReduction-Mode wird der Druck in der Probenkammer von 0,1 mbar auf 0,7 mbar erhöht. Positiv ionisierte Moleküle im Restgas (z.B. H2O) tragen zum Potentialausgleich im Scanfeld bei und sorgen so für eine Reduzierung der Aufladungsartefakte
  • Schliff-Probenkammer (auch als Charge-Reduction-Version)
    Einfache und gleichzeitig plane Fixierung von Schliffen bis 30 mm Durchmesser
  • Tilt&Rotation
    Zwei zusätzliche hochpräzise motorisierte Achsen (Rotation endlos und Kippung -10° bis +45°) in Kombination mit der Phenom „SmartControl“-Software ermöglichen noch bessere Positionierung von Proben im REM
  • CoolingStage (-25 °C bis +50 °C)
    Mit der CoolingStage besteht die Möglichkeit, Flüssigkeiten kontrolliert einzufrieren und im REM zu untersuchen. Hiermit bietet sich die Möglichkeit zur Untersuchung von Präparaten bei genau definierten Temperaturen, z.B. das Verhalten von medizinischen Wirkstoffen bei Lager- und Körpertemperatur
Der Rückstreuelektronendetektor lässt sich sowohl im Materialkontrast- als auch im Topographiekontrastmodus betreiben
Der ChargeReduction-Modus vermindert Aufladungserscheinungen und Strahl- bzw. Vakuumschädigungen bei isolierenden und vakuuminstabilen Proben
Die in 0,1 kV Schritten zwischen 4,8 und 15 kV regelbare Beschleunigungsspannung ermöglicht oberflächensensitive Untersuchungen und höhere Auflösung bei leichten Elementen
Durch Kombination von Abbildung und Elementanalyse ist eine umfassende ortsaufgelöste Charakterisierung von Materialien in kürzester Zeit und zerstörungsfrei möglich

Mit dem Phenom ist ein annähernd perfekter Brückenschlag zwischen Lichtmikroskopie und hoch auflösender Rasterelektronenmikroskopie gelungen. Das Gerät besticht durch intuitive Bedienung. Die auf 1-Inch formatierten Proben sind rasch im Probenhalter montiert. Dank der kleinen Probenkammer ist das Vakuum in weniger als einer halben Minute hergestellt und das Arbeiten im REM-Modus möglich. Ein vor dem Umschalten auf den Elektronenbildmodus mit der integrierten Digitalkamera erstelltes Übersichtsfoto erleichtert die Orientierung bei rasterelektronenmikroskopischer Vergrößerung ungemein. Jeder rasterelektronenmikroskopisch aufgenommene Bildausschnitt kann anhand des Übersichtsbildes exakt lokalisiert und je der Bildausschnitt dank eines vorbildlichen Bedienkonzepts, nämlich Mausklick oder Touchscreen-Nutzung präzise angesteuert werden.

Bereits nach kurzer Einarbeitungszeit kann der unvorbelastete Nutzer REM-Aufnahmen mit exzellenter Abbildungsqualität und überzeugender Schärfentiefe produzieren. Bei Vergrößerungen oberhalb von ca. 2500-fach kann das Cer-Hexaborid-Filament seine Stärken gegenüber Wolfram-basierten Kathoden, die in allen anderen, bisher verfügbaren Desktop-REMs verbaut werden, klar ausspielen. Der deutlich höhere Elektronenfluss der CeB6-Kathode gewährleistet scharfe und kontrastreiche Aufnahmen selbst bei Vergrößerungen jenseits 10.000.

Trotz des Einsatzes eines auf die Erkennung von Materialunterschieden spezifizierten BSE-Detektors, erlaubt das Phenom die Darstellung kleinster morphologischer Variationen in hochkomplexen Mikrostrukturen von Molluskenschalen. Besonders hervorzuheben ist auch der automatische Scan- und Stitching-Modus (Automated Image Stitching, AIM), mit dem rasterelektronenmikroskopische Großformatfotos erstellt werden können, die sich offline bearbeiten und analysieren lassen.

- Prof. Dr. Bernd R. Schöne, Institut für Geowissenschaften, Johannes Gutenberg-Universität Mainz

Hier finden Sie den kompletten Anwenderbericht.

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