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Durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) können Proben bzw. Substrate mit einer großen Bandbreite an Metallen / Metall-Legierungen oder elektrisch leitende Materialien beschichtet werden. Das Beschichtungsmaterial wird als Sputter-Target bezeichnet.

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Der SC7620 Sputter Coater ist ein preisgünstiges, manuelles Gerät zum Sputtern von Edelmetallen und für die Beglimmung. Optional erhältlich ist ein Kohlebeschichtungszusatz mit separater Stromversorgung und Kohlefadenkopfteil.

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Die Geräte der Q150R Plus-Serie sind vollautomatische Beschichtungsanlagen für die Herstellung von leitfähigen Schichten für Anwendungen in der Elektronenmikroskopie bei niedrigen bis mittleren Vergrößerungen. Das Gerät ist in drei Konfigurationen erhältlich: als reiner Kohlebeschichter (RE), als reiner Sputter Coater (RS) oder als Kombigerät (RES) aus Sputter Coater und Kohlebeschichter.

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Die Geräte der Q150T Plus-Serie sind vollautomatische Beschichtungsanlagen für die Herstellung von leitfähigen Schichten für Anwendungen in der Elektronenmikroskopie bei hohen Vergrößerungen. Das Gerät ist in vier Konfigurationen erhältlich: als reiner Kohlebeschichter (TE), reiner Sputter Coater (TS), als Kombigerät (TES) aus Sputter Coater und Kohlebedampfer oder für den Einbau in eine Globebox (GB). Der niedrige Kammerdruck ermöglicht zusätzlich das Sputtern von oxidierenden Metallen, welche eine kleinere Korngröße haben.  

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Die Geräte der Q150V Plus-Serie sind vollautomatische Beschichtungsanlagen für die Herstellung leitfähiger Schichten für Anwendungen in der Elektronenmikroskopie bei sehr hohen Vergrößerungen (> 200.000-fach). Das Gerät ist in drei Konfigurationen erhältlich: als reiner Kohlebeschichter (VE), reiner Sputter Coater (VS) oder als Kombigerät (VES) aus Sputter Coater und Kohlebedampfer. Der sehr niedrige Kammerdruck sorgt dafür, dass Sauerstoff, Stickstoff und Wasserdampf aus der Kammer entfernt werden. Hierdurch werden chemische Reaktionen während des Sputterprozesses vermieden, welche zu Unreinheiten oder Defekten in den Schichten führen könnten. Ebenso wird durch niedrigere Streuung eine hohe Reinheit beim Dampfen von amorphen Kohlefilmen erreicht.    

Die Q150V Plus-Serie hat alle Vorteile der Q150T Plus-Serie, erreicht aber kleinere Korngrößen und dünnere Schichten, welche sich für höchstaufgelöste Anwendungen in der Elektronenmikroskopie eignen.

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Die Sputter Coater (Metall-/Kohlebedampfer) der Q300T Plus-Serie sind modular aufgebaute vollautomatische Beschichtungsanlagen mit großem Rezipienten für feinkörnige Schichten für REM, TEM und die Dünnschichttechnik. Das Gerät ist in drei Versionen erhältlich.

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Der K975X ist ein Widerstandsverdampfer zur Aufbringung dünner Schichten aus Kohlenstoff oder Metallen für REM- und TEM-Anwendungen. Durch ein optionales Modul ist die „low-angle shadowing“ Präparationstechnik nutzbar. Neben dem K975X gibt es ein speziell konzipiertes Gerät (K975S) zur Kohlenstoffbeschichtung von 8“ Wafern.

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Der Q150GB ist eine modulare Glovebox-Version des sehr erfolgreichen Q150T ES - einer Kombination aus Sputter Coater und Kohlebedampfungssystem, geeignet für REM, TEM und viele Dünnschicht-Anwendungen. Q150GB ist eine einzelne Plattform zum Sputtern, Kohlebeschichten und Metallverdampfen (optional).

 

 

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